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奕葉探針臺(EVERBEING)
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中國臺灣奕葉CG-196高低溫探針臺的探針座架設在真空腔體外側(cè),在不破壞溫度及真空環(huán)境的情況下,隨著元件的冷縮熱膨,探針座可配合將探針做重復修改下針. 為消除來自于真空幫浦及地的震動,內(nèi)置主動氣浮式防震桌. 探針座少2 組多8 組,真空10exp-3 Torr 到10exp-6 Torr, 甚至提供腔體正壓到達10atm,超低溫達4度K ,超高溫達1200°C。
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