奕葉探針臺EB系列

一、顯微鏡操控規(guī)格

l 顯微鏡后側有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動，移動范圍2"X2"，精度1μm。

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦，細旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度10μm。

二、臺面規(guī)格

l 探針臺臺面平整度：5μm。

l 探針臺臺面為固定臺面。

三、卡盤（載物臺，即圖中的chuck）規(guī)格

l 6" 卡盤，卡盤平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑 250μm-1mm（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小），小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"。

l 卡盤可360度旋轉，旋轉角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。

l 卡盤座有小搖桿，提起90度后，可以使卡盤快速線性上升4mm，在做wafer點測時方便快速移動點測位置，同時做普通die或者decap后芯片點測時，方便快速更換樣品。

l 卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為6"X6"，移動精度為10μm，為方便點測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能如果點測6"wafer的時候，可以6"wafer的每一點都能夠點測到。

四、性能

l 真空吸附卡盤：對應可選6"產(chǎn)品

l 卡盤X-Y方向線性移動行程：6"-6"

l 線性無回差調(diào)節(jié)

l 卡盤上/下移動行程：4mm

l 4", 6", 8", 12" 晶圓 (晶圓尺寸)

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤平整度: 10um

l 卡盤旋轉角度：0~360°

五、附件

l 顯微鏡傾仰裝置

l 鍍金卡盤

l 射頻測試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測試

l 高壓測試

l 激光修復

l CCD/數(shù)字相機，USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱