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四點(diǎn)探針臺機(jī)臺的手臂可快速更換模塊式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數(shù)固定,當(dāng)探頭的探針點(diǎn)在基板上時(shí), 附有內(nèi)藏彈簧的探針會將四根針同時(shí)收縮,在固定的下壓應(yīng)力使測量的穩(wěn)定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測量.